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  • 产品描述:  喷胶机具有节省光刻胶溶液、重复性强、涂层均匀性好、涂层厚度和粗糙度易于控制等特点,而对于多片来讲,还能实现多片均匀性的一致性,这些特点很有利于喷涂法在商业生产中的应用。
  • 产品描述:  喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备,同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴,溅到衬底或晶圆表面,热板加热将光刻胶溶剂蒸发,使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面,形成相对均匀的光刻胶覆盖。 雾化喷头在衬底或晶圆上方做S形运动, 以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描, 衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。
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