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  • 产品描述:  应力检测仪是用于检测大规模集成电路在IC与MEMS器件加工工艺过程中所产生的应力,其功能是把被测件中各处的应力及其方向通过可视的光弹性条纹显示出来,以测出应力的大小和方向。
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