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  • 产品描述:   显影机一般由工艺腔体、控制系统、动力部分及显示部分、夹具、储液罐等组成。采用喷雾式或者puddle式显影方法,晶圆被吸附于真空吸盘夹具上并旋转,显影液通过喷嘴喷射或者滴到晶圆上,显影完成后清洗喷嘴对晶圆进行冲洗,提高晶圆的旋转速度,将其甩干。
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