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  • 产品描述:  以溶剂作为光刻胶去除剂,晶圆被吸附于真空吸盘夹具上并旋转,光刻胶去除剂通过喷嘴喷射到晶圆上,光刻胶通过溶剂的溶解性和剪切力从晶圆上剥掉。
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