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  • 产品名称: 晶圆喷胶机 SC-50
  • 基片尺寸:
  • 适用材料:
  • 适用工艺:

喷胶机具有节省光刻胶溶液、重复性强、涂层均匀性好、涂层厚度和粗糙度易于控制等特点,而对于多片来讲,还能实现多片均匀性的一致性,这些特点很有利于喷涂法在商业生产中的应用。


性能

指标

基片


基片尺寸

200mm*200mm

基片厚度

0.5mm-2mm

基片材料

Glass,Si,陶瓷等

真空


吸附真空

-10kPa~-30kPa

温度


温度

常温~125

温度均匀性

+/-2%

重复性

+/-3 ℃

精度

+/-1

喷胶均匀性



胶厚

>5μm

均匀性

<10%@10μm


0.1832s