喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备，同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴，溅到衬底或晶圆表面，热板加热将光刻胶溶剂蒸发，使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面，形成相对均匀的光刻胶覆盖。 雾化喷头在衬底或晶圆上方做S形运动， 以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描， 衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。

部分客户名称

华东理工

南方科技大学

中国计量学院

中北大学

中科院物理研究院

武汉科尔威光电科技有限公司成都分公司

清华大学精仪系

成都亚光电子股份有限公司

清华大学深圳研究生院

南方科技大学

北方华创科技集团股份有限公司