喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备,同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴,溅到衬底或晶圆表面,热板加热将光刻胶溶剂蒸发,使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面,形成相对均匀的光刻胶覆盖。 雾化喷头在衬底或晶圆上方做S形运动, 以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描, 衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。
部分客户名称
华东理工
南方科技大学
中国计量学院
中北大学
中科院物理研究院
武汉科尔威光电科技有限公司成都分公司
清华大学精仪系
成都亚光电子股份有限公司
清华大学深圳研究生院
南方科技大学
北方华创科技集团股份有限公司