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  • 产品名称: 晶圆喷胶机 SC-200-V
  • 基片尺寸: 8英寸(向下兼容)
  • 适用材料:
  • 适用工艺:

喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备,同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴,溅到衬底或晶圆表面,热板加热将光刻胶溶剂蒸发,使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面,形成相对均匀的光刻胶覆盖。 雾化喷头在衬底或晶圆上方做S形运动, 以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描, 衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。


部分客户名称

华东理工

南方科技大学

中国计量学院

中北大学

中科院物理研究院

武汉科尔威光电科技有限公司成都分公司

清华大学精仪系

成都亚光电子股份有限公司

清华大学深圳研究生院

南方科技大学

北方华创科技集团股份有限公司

 

1.喷胶范围:8英寸(向下兼容)


2.喷胶厚度均匀性:<10%@10μm


3.喷胶结构深宽比:<1


4.热板温度范围:常温~125℃


* 可定制其他规格的喷胶机。如弧形喷胶机。

 

 喷胶机应用结果.jpg




 

 

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