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  • 产品名称: 显影机
  • 基片尺寸: ≤6英寸
  • 适用材料:
  • 适用工艺:

显影机一般由工艺腔体、控制系统、动力部分及显示部分、夹具、储液罐等组成。采用喷雾式或者puddle式显影方法,晶圆被吸附于真空吸盘夹具上并旋转,显影液通过喷嘴喷射或者滴到晶圆上,显影完成后清洗喷嘴对晶圆进行冲洗,提高晶圆的旋转速度,将其甩干。

1、基片尺寸:≤6英寸;

2、SUS304 耐腐蚀腔体;

3、转速范围:0-1500rpm;

4、转速精度:±5rpm;

5、多喷嘴自动切换;

6、喷雾形状:锥形、扇形;

7、手动式压力调节;

8、触摸屏(10.4英寸)操作;

9、大容量压力罐(15L)。


安装条件

1、真空:-0.8bar~-0.6bar;

2、氮气/CDA:0.6MPa;

3、使用温度:0~55℃;

4、存贮温度:-20~60℃;

5、使用湿度:10% RH~90%RH (无凝露);

6、功率:<1KW;

7、排风:排风口直径>100mm。


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